透射电子显微镜TEM

  • 仪器名称透射电子显微镜TEM
  • 仪器型号JEM-F200
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  • 设备状态
  • 联系方式

· 仪器简介:

TEM用于观察样品内部组织形貌,特别适用于对纳米尺度样品的观测;具有结构相的样品,能在高倍数下观测到晶格条纹。其中,STEM综合扫描和普通透射电子分析的特点,可以观察较厚的试样和低衬度的试样,得到原子序数衬度像。

 

· 测试项目:

1.观察样品形貌(TEM、HRTEM、STEM、明场、暗场);

2.配备超级双能谱仪,可对材料成分进行定性半定量分析,可检测5号元素(B)~92号元素(U);

3.利用选区电子衍射(SAED)对晶体结构进行分析。

 

· 性能指标:

1. 冷场发射电子枪,具有高稳定性、高亮度和高能量分辨率等特点;

2. 200 kV加速电压,点分辨率≤0.23 nm,晶格分辨率≤0.104 nm;

3. 配有HAADF附件,能最大程度发挥STEM功能,STEM HAADF分辨率可达0.16 nm,并可同时拍摄二次电子像或背散射电子像;

4. 安装有两个100平方毫米的无窗探头及双能谱混合器,可做材料的定量分析;

5. 小束斑下的束流强度提高5倍,达到2.5nA@1nm,分析效率大大加快;

6. 选项的双超级能谱设计(立体角高达1.7sr,快速高感度高精度分析);

7. 其他:四级聚光镜设计、光阑控制全部改为自动控制、高端扫描系统、皮米样品台控制、STEM全自动功能、全自动进样装置、三维重构软件等。

 

· 主要附件:

       1. 双 X 射线能谱仪(EDS):能量分辨率 133 eV,有效检测面积可达 200 mm2;

       2. 电子能量损失谱仪 EELS:系统能量分辨率 0.3 eV;

       3. 低温双倾样品杆:通过液氮可冷却温度-160 ℃,支持更换样品直径为 3 mm。


· 应用范围:

       配备有电子能量损失谱仪(EELS)、EDS 能谱仪及扫描透射探测系统,低倍下可以用来观察样品的晶粒形貌和物相分布,高倍下可用于确定材料的晶体结构,观测微量相的分布、晶体缺陷及界面形貌等。STEM 模式下具有 0.16 nm 的高分辨率,1.5 亿倍的超高放大倍率, 可用来呈现材料的明暗场像及高分辨 STEM 像,对原子结构进行分析。


· 应用案例: