激光共聚焦显微镜

  • 仪器名称激光共聚焦显微镜
  • 仪器型号
  • 厂商/品牌
  • 资产编号
  • 放置地点
  • 设备状态
  • 联系方式

·测试项目:

1.样品表面形貌、粗糙度测试;

2.长度、深度、面积测量。

 

·技术指标:

1.光源类型:≤404nm紫色半导体激光;

2.X/Y方向测量显示分辨率1nm;

3.Z向测量显示分辨率0.5nm

4.1nm-50mm高精度测量。

 

·应用范围:

用于在微米和亚微米级别,完成对材料加工表面轮廓与形状的全面三维表征测试与分析,可获得被观测样品的微观二维形貌图像、微观三维形貌图像、微观三维轮廓与地形图像。可获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。

 

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