· 设备简介：

该设备可完成微纳米尺度上材料力学性能测试和表征。可用于金属、聚合物、无机非金属、膜及复合材料等的纳米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损等力学性能测试，获得相关条件下的硬度、模量、摩擦系数、磨损等性能。并通过对材料表面的精细成像，获得材料表面的3D形貌图、表面粗糙度、压痕/划痕残余深度等物理量。

· 测试项目：

1.纳米压痕模块：硬度、弹性模量、刚性、蠕变性、应力松弛、断裂韧性；

2.纳米划痕模块：摩擦系数、耐划伤性、薄膜附着力、分层力；

3.纳米摩擦磨损模块：耐磨性、磨损扫描、磨损深度、磨损体积；

4.原位扫描探针成像模块：3D形貌图、表面粗糙度、压痕/划痕残余深度、膜厚；

5.动态力学测试模块：储存模量、损耗模量、频率依赖性、CMX连续测量X（硬度、模量、刚度等）。

· 技术指标：

1. 纳米压痕模块

可获得物理量：硬度、弹性模量、刚性、蠕变性、应力松弛、断裂韧性

（1）最大载荷: ≥10mN

（2）载荷力分辨率: ≤1nN

（3）载荷噪音背景: ≤20nN

（4）最大位移：≥5μm

（5）位移分辨率: ≤0.006nm

（6）位移噪音背景：＜0.2nm

（7）热漂移（在室温条件下）: ≤0.05nm/s

（8）最小载荷：≤70nN

2、纳米划痕模块

可获得物理量：摩擦系数、耐划伤性、薄膜附着力、分层力

（1）最大横向载荷力: 2mN

（2）横向载荷分辨率: ＜50nN

（3）载荷噪声背景: ＜3.5μN

（4）横向位移噪音背景：＜2nm

（5）横向位移分辨率: ＜0.02nm

（6）热漂移（在室温条件下）: ≤0.05nm/s

3、纳米摩擦磨损模块

可获得物理量：耐磨性、磨损扫描、磨损深度、磨损体积

（1）磨损面积范围：1μm×1μm-75μm×75μm

（2）纵向载荷范围: 70nN ～ 1mN

4、原位扫描探针成像(SPM+)模块

可获得物理量：3D形貌图、表面粗糙度、压痕/划痕残余深度、膜厚等

（1）扫描频率：0.01 Hz – 3.0 Hz

（2）扫描分辨率: 4096×4096 像素点

（3）扫描探针原位的位置控制精度：±10 nm

（4）最小扫描成像载荷：70nN

5、动态力学测试模块（nanoDMAIII）

可获得物理量：储存模量、损耗模量、频率依赖性、CMX连续测量X(硬度、模量、刚度等等)

（1）频率范围：0.1～300Hz

（2）最大动态载荷：5mN

（3）最大准静态力：10mN

（4）载荷噪音背景：＜30nN

（5）最大动态位移振幅：2.5μm

（6）最大准静态位移：5μm

（7）位移噪音背景：＜0.2nm

（8）可与高温模块结合连用，得到材料高温条件下的动态力学性能

· 应用范围：

用于金属、聚合物、无机非金属、膜及复合材料等的微纳米尺度上材料力学性能测试。

· 应用案例：

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